杨建宏，闫进

• 1:太原重型机械学院基础部

摘要(Abstract)：

本文首次利用Ｍｉｃｈｅｌｓｏｎ干涉仪对多弧离子镀ＴＩＮ装饰膜厚度进行了精确测量，该方法原理简单，测量精度高、可重复性强．是装饰膜厚度测量的最佳方法．

关键词(KeyWords)： 薄膜厚度测量；迈克尔逊干涉仪

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 杨建宏，闫进

参考文献(References)：

• 1ZlatanovicM，GredicT，WhittleN．Substrate－inducedchangesofTiNand（Ti，AL）Ncoatingsduetoplasmanitruidng．Surfaceandcoatingstechnology，1994，63：35～412VyskocilJ，Musil／J．Arcevaporationofhardcoatings：Properties．SurfaceTechnol－ogy，1990，43／44：299～3113MullerRH，AspuesDE．Ellipsometry．SurfaceSci．，North－Holland：1980，964轻工部钟表研究所．离子镀仿金TiN性能测试方法．19845李文明等．用迈克尔逊干涉仪测量真空镀金属膜厚度及光学参数．大学物理．1993．12（6）：38～406沈朝晖．用迈克尔逊干涉仪测量单层薄膜的厚度和折射率．大学物理实验，1994，7（1）：1～37田民波等．薄膜科学与技术手册（下册）．北京：机械工业出版社，1991．676—6778USPatent425286219819杨建宏．离子镀装饰膜工艺研究：［学位论文］西安：西安交通大学，199310白辰东．等离子体化学气相沉积TiN基硬质镀层膜基结合强度反腐蚀行为的研究：［学位论文］西安：西安交通大学．199411费业泰．误差理论与数据处理．北京：机械工业出版社．1981．16～19